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\section{Einleitung}
\label{sec:einl}
Die Transmissionselektronenmikroskopie, kurz TEM, stellt in vielen Bereichen der Natur- und
Ingenieurswissenschaften sowie der Medizin ein wichtiges Verfahren zur Untersuchung von
anorganischen wie organischen Materialien auf deren atomare Struktur oder zur hohen Auflösung
diverser Materialien dar. Man nutzt hierzu Elektronen, da deren geringe Wellenlänge eine
deutlich genauere Auflösung ermöglicht (vgl.~\ref{eq:auflösung}) als beispielsweise
Röntgenstrahlung und diese einfacher zu handhaben sind als Gammastrahlung im gleichen
Wellenlängenbereich.
\begin{equation}\label{eq:auflösung}
\delta_{min} = 0.61 \cdot \frac{\lambda}{n \cdot \sin\alpha}
\end{equation}
\begin{conditions}
\delta_{min} & Auflösungsgrenze eines Lichtmikroskops\\
\lambda & Wellenlänge\\
n & Brechungsindex vor der Objektivlinse\\
\alpha & halber Öffnungswinkel des Objektivs
\end{conditions}
\subsection{Aufbau und Funktionsweise eines TEM}
\label{sec:aufbau}
\begin{figure}[h]
\centering
\includegraphics[width=0.5\textwidth]{../protokoll/figures/aufbau_tem.png}
\caption{Schematische Darstellung des Aufbaus eines TEM mit Skizzierung des Strahlenverlaufs.}
\label{fig:aufbau}
\end{figure}
In~\ref{fig:aufbau} ist der Aufbau sowie der Strahlenverlauf eines TEM skizziert. Die Elektronen
werden in der Elektronenquelle erzeugt. Dies kann über mehrere verschiedene Verfahren geschehen.
\subsubsection{Elektronenquellen}
\label{sec:equellen}
Die einfachste Möglichkeit, eine Elektronenquelle aufzubauen, ist ähnlich der einer Glühbirne.
Dabei wird eine Wolfram-Haarnadel-Kathode als Emitter genutzt. Um Elektronen zu emittieren, wird
die Kathode erhitzt. Wenige Millimeter hinter der Kathode befindet sich die Wehneltelektrode mit
einem Potential von wenigen \(\SI{-100}{\volt}\). Durch diese Elektrode werden die Elektronen zur
optischen Achse hin gelenkt, sodass ein engster Bündelquerschnitt zwischen Wehneltelektrode und
Anode entsteht. Die Anode sorgt dafür, dass die Elektronen abgesaugt und beschleunigt werden.
Diese Art von Elektronenquellen nennt man wegen der Nutzung allein thermische Anregung zur
Emission \emph{thermische Elektronenquellen}.\\
Eine andere Möglichkeit stellt die \emph{Feldemissionsquelle} dar, die im Gegensatz zur
rein thermischen Quelle, einen fokussierteren Strahl erzeugen kann. Sie besteht aus einer
sehr dünnen Kathode (Spitzenkathode) mit einer Spitze, die aus Wolframdraht besteht, dessen
Radius ca. \(\SI{50}{\nano\metre}\) groß ist. Die Kathodenspitze ist so dünn damit man starke
elektrische Felder erzeugen kann, um Elektronen allein mit diesen aus der Kathode zu lösen.
Direkt hinter der Kathode befindet sich der Extraktor. Eine Elektrode, die sich auf einem
Potential von wenigen Kilovolt befindet. Wenn die Elektronen den Extraktor passiert haben werden
sie von der Anode beschleunigt. Bei der Feldemissionsquelle entsteht eine virtuelle Quelle,
die man meist mit Hilfe einer Linse nach der Anode in eine reelle Quelle umwandelt.\\
Eine dritte Möglichkeit ist die Kombination beider Quellarten zur so genannten
\emph{Schottky-Feldemissionsquelle}.
\subsubsection{Magnetische Linsen}
\label{sec:linsen}
Im TEM werden magnetische Rundlinsen verwendet. Diese bestehen aus zwei Spulen, die sich
gegenüber von einander angeordnet sind und in der sich jeweils ein
Kern und an dessen Ende ein Polschuh befinden. Durch die Symmetrie dieser Anordnung wird im
Polschuhspalt ein starkes Magnetfeld (\(\approx \SI{1}{\tesla} \text{bis} \SI{2}{\tesla}\))
erzeugt.
Die Variation der Brennweite der Linse erfolgt über eine Variation des Spulenstroms.
\subsubsection{Strahlenverlauf}
\label{sec:verlauf}
Mit Hilfe der Kondensorlinsen, die sich unter der Elektronenquelle befinden kann man die Größe
des bestrahlten Objektbereichs sowie die Beleuchtungsapertur einstellen.
Danach treffen die Elektronen auf das Objekt und werden von diesem entsprechend in ihrem
Verlauf beeinflusst.
In der hinteren Brennebene der Objektivlinsen wird das Beugungsbild erzeugt. Dort werden alle
Elektronen in einem Punkt vereinigt, die im selben Winkel das Objekt verlassen haben.
Nachdem der Strahl die Kontrastblende passiert hat entsteht das erste Zwischenbild. Dabei handelt
es sich bereits um ein Objektbild, das anschließen durch die Zwischen- und Projektivlinse stark
vergrößert und auf einen Leuchtschirm geworfen wird. Dieser Schirm kann hochgeklappt werden, um
zur Aufnahme von Bildern eine CCD-Kamera zu belichten.\\
Im Mikroskop herrscht ein Vakuum damit die Elektronen nicht schon auf ihrem Weg zum oder vom
Objekt an anderen Molekülen gestreut werden und das Objekt an sich nicht Kontaminiert wird. Um zu
verhindern, dass zum Beispiel durch Eingabe
des Objekts Schmutzmoleküle in das Mikroskop gelangen, wird das Objekt in eine Vakuumschleuse
eingeführt, die vor Eintritt in das Mikroskop ein Vakuum um das Objekt herum herstellt.
Außerdem wird ein Kondensring im Mikroskop mit flüssigem Stickstoff gekühlt, damit eventuelle
störende Moleküle, an diesem kondensieren. NOCHMAL NACHSCHAUEN!
\subsection{Streuung von Elektronen}
\label{sec:streuung}
\subsubsection{Elastische Streuung}
\label{sec:elast}
Von elastische Streuung spricht man, wenn die kinetische Energie des Elektrons vor und nach dem
Stoß gleich bleibt. Dabei wird ein Atom durch das Coulombpotential, das sich aus Atomkern und den
ihn umgebenden, abschirmend wirkenden Elektronen zusammensetzt.
\subsubsection{Unelastische Streuung}
\label{sec:inelast}
Inelastische Streuung erfolgt dann, wenn die Strahlelektronen mit den Hüllenelektronen der
Objektatome zusammenstoßen. Dabei überträgt das einfallende Elektron dem Hüllenelektron Energie,
die dazu führt, dass das Hüllenelektron entweder auf ein höheres Energieniveau geschubst wird
oder falls die übertragene Energie mindestens so groß wie die Bindungsenergie des Atoms ist,
sogar zur Ionisation führen. Bei Festkörpern kann es außerdem zu Verlusten aufgrund von
Phononenanregungen sowie Plasmonen kommen.\\
Diese Energieverluste, die vor allem bei Ionisierungsverlusten elementspezifisch sind, werden bei
der Elektronenenergieverlustspektroskopie aufgezeichnet. Dadurch können Rückschlüsse auf die
Zusammensetzung des untersuchten Materials gezogen werden.
\subsubsection{Streuung an dünnen Folien}
\label{sec:folie}
Da man die untersuchten Objekte mit Elektronen durchleuchten möchte, müssen diese dünn sein,
so dünn, dass man sie als Folien beschreiben kann. Bei dieser Betrachtungsweise geht man von
Einfachstreuungen aus, da die Amplitude der einfallenden Welle so stark abgeschwächt wird, dass
man sie vernachlässigen kann. Diese Annahme der Einfachstreuung nennt man kinematische Näherung.
Die gestreute Welle ergibt sich dann als Summe, ergo Interferenz, der Einzelwellen.
Wichtig für die Betrachtung ist des Weiteren die Unterscheidung der Folien in verschiedene
Materialien: amorph, einkristallin und polykristallin.\\
Amorph sind Materialien dann, wenn die Atome bzw. Moleküle aus denen sie bestehen in keiner
strukturierten oder periodischen Ordnung zu einander stehen, sondern zufällig zu einander
ausgerichtet sind. Das Beugungsbild ergibt sich zu konzentrischen Kreisen, die allerdings nicht
unbedingt einzeln erkennbar sein müssen, da sie eher verschmiert aussehen. Aus diesem Beugungsbild
kann man den Abstand, den die Atome zu einander haben berechnen.\\
Kristalline Strukturen beschreibt man in dem man die Elementarzellen, die die Grundstruktur des
Kristalls darstellen, verschiebt, um somit den gesamten Kristall aus diesen aufzubauen.
Anschließend kann man in den Kristall Netzebenen, parallele, äquidistante Ebenen, die die selbe
Periodizität aufweisen wie die Beschreibung der Elementarzellen mittels Punktgitter, legen und
mit Hilfe der Bragg-Gleichung eine Bedingung für konstruktive Interferenz aufstellen.
\begin{equation}\label{eq:bragg}
2 \cdot d_{hkl} \sin\vartheta = n \cdot \lambda, n=1,2,3,...
\end{equation}
Dabei ist \(d_{hkl}\) der Abstand der Netzebenen:
\begin{equation}\label{eq:netz}
d_{hkl} = \frac{a}{\sqrt{h^2+k^2+l^2}}
\end{equation}
\begin{conditions}
\vartheta & Einfallswinkel der Welle\\
\lambda & Wellenlänge\\
a & Gitterkonstante
\end{conditions}
\section{Durchf\"uhrung und Auswertung}
\label{sec:durchaus}
% TODO: allgemeines zu sensitivitaet der Kamera, bedienung